“Edwards爱德华iXL干泵”参数说明
是否有现货: |
是 |
认证: |
**** |
品牌: |
爱德华 |
材质: |
铸铝 |
驱动方式: |
电动 |
用途: |
真空泵 |
工作原理: |
气体传输泵 |
抽气机理: |
真空泵 |
结构: |
旋片式真空泵 |
功率: |
**** |
极限压力: |
**** |
外形尺寸: |
**** |
型号: |
iXL |
规格: |
iXL |
商标: |
iXL |
包装: |
iXL |
尺寸: |
**** |
产量: |
9999 |
“Edwards爱德华iXL干泵”详细介绍
iXL
干泵
iXL
系列干泵满足 平板显示器 (FPD)、半导体和太阳能制造市场 领域涉及的所有排气要求。
这些性能领先的 泵旨在最大限度地提高基板吞吐量,同时尽可能降低功耗、 占地面积和重量。此外,大修间隔期内无须 维护。
适用于半导体和太阳能应用的小型 iXL 干泵
iXL120
:
紧凑型低能量的 110 m3/h 干泵,用于晶圆加工和其他清洁工作应用。它可 快速抽空负载锁定舱室,能耗极低。可 用于负载锁定和清洁应用的最小且最轻的泵之一。其低振动和低噪声级的优点使其适合于安装在机台上或 工厂的夹心层中,从而有助于节省宝贵的工厂地面空间。环保 模式可在空闲期间降低设备使用率,从而降低使用成本, 有助于保护环境。
·????????
一流的舱室抽空时间可减少 总体平均循环时间 (TACT)
·????????
仅仅 0.55kW 的功耗 有助于最大程度减少客户拥有成本
·????????
环保模式可以在空闲 期间最多减少 92% 的功耗
·????????
最高 35oC 的水 供给有助于降低设备冷却水要求
·????????
极小且极轻, 有助于节省宝贵的工厂空间
适用于严苛应用的大型 iXL 干泵
iXL1000
:
紧凑型低能量的干 泵,适用于轻负载应用。它提供快速舱室抽空和 极低的功耗。可用于轻负载应用(如晶圆加工、PVD 和 计量)的最小且最安静的泵之一。此产品 在高度成功的 iXL120 泵的基础上构建,具有高抽取速度和 低能耗特性。通过环保模式可在空闲期间降低设备 使用率,从而降低成本并帮助保护环境。
·????????
一流的舱室 抽空时间可减少总体平均循环时间 (TACT)
·????????
仅仅 0.55kW 的功 耗有助于最大程度减少客户拥有成本
·????????
环保模式可以在 空闲期间最多减少 92% 的功耗
·????????
最高 35oC 的水供给有助于 降低设备冷却水要求
·????????
极小且极 轻,有助于节省宝贵的工厂空间
适用于 Applied Materials 制程平台的 IPUP
IPUP2
:
紧凑型低能量的 180m3/h干泵,用于晶圆加工和其他清洁工作应用。它能够 以低能耗快速抽空负载锁定舱室。
IPUP2
小巧轻便,适用于负载锁定 和清洁应用。其低振动和低噪声级的优点使其适合于 在机台上使用或安装在工厂的夹心层中,从而有助于节省宝贵的 工厂地面空间,同时最大程序地提高泵送性能。环保模式可在 空闲期间降低设备使用率,从而降低使用成本, 有助于保护环境。
适合在 Applied Materials 的制程平台上使用, 可提高处理能力,同时减少能耗。
·????????
3
万亿次循环 MTBF
·????????
与原始 IPUP? 相比,速度 提高 50%,能耗降低 70%
·????????
提供适用于现有 IPUP? 的 插入式替换部件
全国销售
???
唐
S
QQ
:
网址:
http://www.cj1680.com