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Edwards爱德华iXL干泵

Edwards爱德华iXL干泵--点击浏览大图
“Edwards爱德华iXL干泵”参数说明
是否有现货: 认证: ****
品牌: 爱德华 材质: 铸铝
驱动方式: 电动 用途: 真空泵
工作原理: 气体传输泵 抽气机理: 真空泵
结构: 旋片式真空泵 功率: ****
极限压力: **** 外形尺寸: ****
型号: iXL 规格: iXL
商标: iXL 包装: iXL
尺寸: **** 产量: 9999
“Edwards爱德华iXL干泵”详细介绍
iXL 干泵 iXL 系列干泵满足 平板显示器 (FPD)、半导体和太阳能制造市场 领域涉及的所有排气要求。 这些性能领先的 泵旨在最大限度地提高基板吞吐量,同时尽可能降低功耗、 占地面积和重量。此外,大修间隔期内无须 维护。 适用于半导体和太阳能应用的小型 iXL 干泵 iXL120 : 紧凑型低能量的 110 m3/h 干泵,用于晶圆加工和其他清洁工作应用。它可 快速抽空负载锁定舱室,能耗极低。可 用于负载锁定和清洁应用的最小且最轻的泵之一。其低振动和低噪声级的优点使其适合于安装在机台上或 工厂的夹心层中,从而有助于节省宝贵的工厂地面空间。环保 模式可在空闲期间降低设备使用率,从而降低使用成本, 有助于保护环境。 ·???????? 一流的舱室抽空时间可减少 总体平均循环时间 (TACT) ·???????? 仅仅 0.55kW 的功耗 有助于最大程度减少客户拥有成本 ·???????? 环保模式可以在空闲 期间最多减少 92% 的功耗 ·???????? 最高 35oC 的水 供给有助于降低设备冷却水要求 ·???????? 极小且极轻, 有助于节省宝贵的工厂空间 适用于严苛应用的大型 iXL 干泵 iXL1000 : 紧凑型低能量的干 泵,适用于轻负载应用。它提供快速舱室抽空和 极低的功耗。可用于轻负载应用(如晶圆加工、PVD 和 计量)的最小且最安静的泵之一。此产品 在高度成功的 iXL120 泵的基础上构建,具有高抽取速度和 低能耗特性。通过环保模式可在空闲期间降低设备 使用率,从而降低成本并帮助保护环境。 ·???????? 一流的舱室 抽空时间可减少总体平均循环时间 (TACT) ·???????? 仅仅 0.55kW 的功 耗有助于最大程度减少客户拥有成本 ·???????? 环保模式可以在 空闲期间最多减少 92% 的功耗 ·???????? 最高 35oC 的水供给有助于 降低设备冷却水要求 ·???????? 极小且极 轻,有助于节省宝贵的工厂空间 适用于 Applied Materials 制程平台的 IPUP IPUP2 : 紧凑型低能量的 180m3/h干泵,用于晶圆加工和其他清洁工作应用。它能够 以低能耗快速抽空负载锁定舱室。 IPUP2 小巧轻便,适用于负载锁定 和清洁应用。其低振动和低噪声级的优点使其适合于 在机台上使用或安装在工厂的夹心层中,从而有助于节省宝贵的 工厂地面空间,同时最大程序地提高泵送性能。环保模式可在 空闲期间降低设备使用率,从而降低使用成本, 有助于保护环境。 适合在 Applied Materials 的制程平台上使用, 可提高处理能力,同时减少能耗。 ·???????? 3 万亿次循环 MTBF ·???????? 与原始 IPUP? 相比,速度 提高 50%,能耗降低 70% ·???????? 提供适用于现有 IPUP? 的 插入式替换部件 全国销售 ??? 唐 S QQ : 网址: http://www.cj1680.com
编辑:绍兴创舰科技有限公司  时间:2018/05/11