Edwards爱德华iXH 干泵
“Edwards爱德华iXH 干泵”参数说明
| 是否有现货： | 是 | 认证： | **** |
| 品牌： | 爱德华 | 材质： | 铸铝 |
| 驱动方式： | 电动 | 用途： | 真空泵 |
| 工作原理： | 气体传输泵 | 抽气机理： | 真空泵 |
| 结构： | 旋片式真空泵 | 功率： | **** |
| 极限压力： | **** | 外形尺寸： | **** |
| 型号： | iXH | 规格： | iXH |
| 商标： | iXH | 包装： | iXH |
| 尺寸： | **** | 产量： | 9999 |
“Edwards爱德华iXH 干泵”详细介绍
iXH
干泵iXH
系列干泵产品是Edwards
的市场领先 iH
产品的换代升级，为严苛制程能力
树立了新标准，它在世界上的许多 300mm
半导体和平板
工厂内通过提高制程可靠性实现低拥有成本。
可满足 FPD
、太阳能、
半导体和 LED
制造业中日益提高的气体流量要求的
完美大容量干泵和增压泵系列。
除了具有高峰值抽取速度外，这些泵还配备多种特性
以确保在严苛制程中具有最大可靠性。iXH
泵采用模块化设计，符合
当今的制程要求，并且对于前沿工厂中不断涌现的应用挑战
有着路线明确的应对计划。
应用
半导体的目标应用包括：
l?? PECVD
l??
高 K
l??
低 K
l?? SACVD
l?? LPCVD
l?? ALD
l?? EPIFPD
的目标应用包括：
l?? PECVD
l?? TCO
l??
刻蚀
l??
传输腔
主要特性和优势
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针对先进的 EPI
和太阳能制程大幅提高了氢气抽取速度。
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大容量干泵和
增压泵提供扩展的制程窗口以提高产量。
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占地面积更小，高度更低，便于在任何工厂中安装。符合主要的国际标准，包括 UL
、CE
和 S2
。
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可以始终如一地使用或省略不用。
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全国销售
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网址：
http://www.cj1680.com
编辑：绍兴创舰科技有限公司 时间：2018/05/11