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爱德华干泵iGX100 |
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“爱德华干泵iGX100”参数说明
“爱德华干泵iGX100”详细介绍
爱德华iGX干泵iGX干式真空泵系列为大修之间零维护现代干泵树立了新标准;这使其成为了世界上最受欢迎的干泵之一,目前已在大多数领先的300mm工厂中安装了20,000套以上。iGX系列包括MicroTIM工具接口和以太网连接,允许通过网页查看主要数据,同时包括一套全面的网络选项,可确保泵持续运转。iGX泵的峰值速度范围很宽,并可以改变以适合各种应用条件,包括从清洁到中等负载制程。模块化设计允许用户对iGX干泵进行配置以适合各个工厂的要求。紧凑的占地面积允许使用多种安装选项,包括工具上、近程和远程操作。通过使用iGX干泵技术,整个工厂通常可以在设施成本方面实现40%*的节省(与iL/iH干泵相比)。爱德华干泵iGX100产品详图爱德华干泵iGX100技术参数抽速率应用目标应用包括lPVDl电介质刻蚀l导体刻蚀l植入源客户也将iGX用于一系列清洁和轻负载应用。主要特性和优势l低功耗和零预防性维护,可降低拥有成本l小巧轻便,可使用灵活的安装选项l高性能电机和变频器驱动装置l待机模式使用环保模式,功耗理低l高导执性材料和优良设计可实现低水流量和高效冷却l精密陶瓷轴承可确保高负载容量,因而更加可靠l低振动和小于55Db(A)的低噪声,可以安装在操作中同附近泵系列liGX100liGX600liGX1000l全国销售唐SlQQ:l网址:http://www.cj1680.com爱德华干泵iGX100
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